曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
北京市
等。中心现有80多台各种微机电工艺设备,如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、AWB04键合机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、WL2040铝丝压焊机、OPTI
福建省微纳米 纳米
进出口产品的微生物、理化参数、农兽药残留等领域的分析检测,确保产品符合健康、安全、卫生等要求。 进出口产品检测 微生物检测 理化检测 农兽药残检测 实验室现有主要仪器设备90台(套),总价值三百余万元,其中十万元以上设备九台:自动
山东省
研究 。 实验室建设了“精密量子输运”、“精密光学测量”、“扫描隧道显微学”、“材料生长与微器件加工”、“理论与计算模拟中心”和“超导技术研发中心”6个研究平台。实验室拥有电子束曝光机、超低温扫描隧道显微镜、低温扫描隧道显微镜、双频刻蚀系统、透射
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
。 实验室共有70多台价值10万元人民币(或2万美元)以上的大型设备,包括卧式加工中心MAHO MC50 ,三座标测量机ZEISS CMM ,电子束光刻机,原子力显微镜,深干法刻蚀机,微米三维X射线成像系统,多靶材溅射系统,SUN4/60
陕西省
“985工程”的支持下,由北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室具体承建,2008年初投入使用。超净使用面积约400平方米,配备光刻、镀膜、刻蚀以及光、电测量等基本微纳加工和测量必需公用设备,为各院系相关科研工作顺利开展、进一步提高科学研究水平,为北大相关的研究人员争取国家项目创造条件。
设备有:X射线光电子能谱(XPS);场发射扫描电镜SEM(含能谱和电子束曝光系统);X射线衍射仪(XRD);原子力显微镜(AFM);拉曼光谱仪;电感耦合等离子原子发射光谱仪(ICP_AES);差示扫描热分析(DSC);同步热分析仪(TGA);比表面积及孔隙度分析仪(BET);激光粒度仪;台阶仪;流变仪等。
广东省
要学术带头人的结构合理、团结奋进的科研团队。 实验室主要围绕太阳能电池材料制备和光伏系统评价两部分开展工作,其中太阳能电池材料制备及检测设备20余台,固定资产达到1200万。拥有电子束熔炼设备、多用途真空熔炼设备、多晶硅镀膜设备等硅
辽宁省
联合系统、多功能高分辨电子能量损失谱仪、场发射透射电子显微镜、极低温强磁场双探针扫描隧道显微镜、FEI DB235聚焦离子束刻蚀与沉积系统、Raith 150 电子束曝光系统、IBM SP 690大型计算机、模块式三级拉曼光谱系统以及自行
北京市物理
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